חיפוש חדש  חזור
מידע אישי לתלמיד

שנה"ל תשע"ה

  מבוא למערכות מיקרו-אלקטרוניות מכניות
  Introduction to Micro-Electro-Mechanical Systems  
0512-4702-01
הנדסה | תואר ראשון - חשמל ואלקטרוניקה
סמ'  ב' שיעור ות גב' אינזלברג לילך
סמ'  ב'1100-1300 שיעור ות פרופ חנין יעל
סמ'  ב'1800-2000 שיעור ות
ש"ס:  4.0

סילבוס מקוצר
שעות:                4 ש"ס
משקל:               3.5
דרישות קדם:      מבוא לפיזיקה של מוליכים למחצה
עקרונות ייצור בתחום מערכות מיקרו-אלקטרו-מכניות: חומרים בטכנולוגיות מזעור (סיליקון, זכוכית, פלסטיק, PDMS), שיטות ליטוגרפיה (אופטית, Ebeam, Soft-lithography), שיטות נידוף ואיכול (יבש וכימי), תהליכי ייצור מבנים תלת-מימדים, שינוי ואפיון תכונות פני שטח.
עקרונות חישה והפעלה מיקרו-אלקטרו-מכניים: מתמרים אקוסטים, מכנים (חומרים פיזואלקטרים, פיזורסיסטורס) תרמים, כימים.
מערכות מיקרו חיישנים ומפעילים למדידות תאוצה, לחץ, לאפליקציות אופטיות, וביולוגיות, כולל מיקרו תעלות, משאבות ושסתומים.
Course description
Credit points: 3.5
Prerequisites: Introduction to Semiconductor Physics.
Principles in micro-electro-mechanical system (MEMS) manufacturing: materials in MEMS (silicon, glass, plastic, PDMS), lithography methods (optical, e-beam,, soft-lithography), evaporation and etching methods (dry, wet), 3D fabrication, surface modification methods. Sensing and actuation principles in MEMS; mechanical (piezo-resistors, piezo-resistors) acoustic, thermal and chemical transducers. MEMS sensors and actuators for acceleration, pressure, optical and biological application including micro channels, pumps and valves. 

להצהרת הנגישות


אוניברסיטת ת