| |||||||||||||||||||||||||
מיקרוסקופית אלקטרונים סורקים (sem)
Scanning Electron Microscopy |
0581-5332-01 | ||||||||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
הנדסה | תואר שני - מדע והנדסת חומרים | |||||||||||||||||||||||||
|
משקל: 2
רקע למיקרוסקופית אלקטרונים בסריקה (SEM). אינטרקציה של אלומת אלקטרונים בחומר: מודלים לאינטרקציה אלסטית ואינאלסטית, סימולצית מונטה-קרלו לאינטראקציה. תכונות של האותות הראשיים המתקבלים ומיקרואנאליזה באמצעות קרינת .X אופטיקה של קרן האלקטרונים: מקורות אלקטרונים, עדשות מגנטיות ואברציות. עקרון יצירת תמונה. סוגי מיקרוסקופים אלקטרונים סורקים כולל ESEM ושיטות אפיון חדישות כולל Electron Backscattered Diffraction. אספקטים פרקטיים לעבודת SEM ואפליקציות מגוונות.
הערה: השיעור מהווה דרישת קדם למעבדה (קורס נפרד) שתבוצע בשליש האחרון של הסמסטר.
Credit Points: 2
Background to scanning electron microscopy (SEM). Electron-specimen interaction: models for elastic and inelastic interaction, Monte-Carlo simulation for electron-specimen interaction. Properties of main signals and X-ray microanalysis. Electron optics: electron sources, magnetic lenses and aberrations. Principles of image formation. Various SEM types including ESEM and advanced methods including Electron Backscattered Diffraction. Practical SEM aspects and various applications.
Note: the SEM laboratory course follows the SEM course and takes place at the third part of the semester.