 שנה"ל תשע"ו | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
 |
 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
מבוא למערכות מיקרו-אלקטרוניות מכניות
Introduction to Micro-Electro-Mechanical Systems |
0512-4702-01 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| הנדסה | תואר ראשון - חשמל ואלקטרוניקה | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ש"ס: 4.0
סילבוס מקוצר
שעות: 4 ש"ס
משקל: 3.5
דרישות קדם: מבוא לפיזיקה של מוליכים למחצה
עקרונות ייצור בתחום מערכות מיקרו-אלקטרו-מכניות: חומרים בטכנולוגיות מזעור (סיליקון, זכוכית, פלסטיק, PDMS), שיטות ליטוגרפיה (אופטית, Ebeam, Soft-lithography), שיטות נידוף ואיכול (יבש וכימי), תהליכי ייצור מבנים תלת-מימדים, שינוי ואפיון תכונות פני שטח.
עקרונות חישה והפעלה מיקרו-אלקטרו-מכניים: מתמרים אקוסטים, מכנים (חומרים פיזואלקטרים, פיזורסיסטורס) תרמים, כימים.
מערכות מיקרו חיישנים ומפעילים למדידות תאוצה, לחץ, לאפליקציות אופטיות, וביולוגיות, כולל מיקרו תעלות, משאבות ושסתומים.
Course description
Credit points: 3.5
Prerequisites: Introduction to Semiconductor Physics.
Principles in micro-electro-mechanical system (MEMS) manufacturing: materials in MEMS (silicon, glass, plastic, PDMS), lithography methods (optical, e-beam,, soft-lithography), evaporation and etching methods (dry, wet), 3D fabrication, surface modification methods. Sensing and actuation principles in MEMS; mechanical (piezo-resistors, piezo-resistors) acoustic, thermal and chemical transducers. MEMS sensors and actuators for acceleration, pressure, optical and biological application including micro channels, pumps and valves.
Prerequisites: Introduction to Semiconductor Physics.
Principles in micro-electro-mechanical system (MEMS) manufacturing: materials in MEMS (silicon, glass, plastic, PDMS), lithography methods (optical, e-beam,, soft-lithography), evaporation and etching methods (dry, wet), 3D fabrication, surface modification methods. Sensing and actuation principles in MEMS; mechanical (piezo-resistors, piezo-resistors) acoustic, thermal and chemical transducers. MEMS sensors and actuators for acceleration, pressure, optical and biological application including micro channels, pumps and valves.